네덜란드에서 받은 악재, 중국 반도체 업계의 위기
네덜란드의 최신 반도체 장비 수출 제한으로 중국의 반도체 제조업체들이 큰 위기를 맞고 있습니다. 반도체 제조에 필수적인 장비인 리소그래피(Lithography) 기계를 독점적으로 제조하는 네덜란드 기업 ASML은 이제 최신 장비를 중국에 수출하기 위해 특별한 라이센스를 받아야 합니다.
최신 리소그래피 장비 수출 제한
지난달 네덜란드 외교통상개발부 장관 Reinette Klever는 ASML이 중국에 구형 1970i와 1980i Immersion DUV(Deep Ultraviolet) 리소그래피 기계를 수출하려면 라이센스를 받아야 한다고 발표했습니다. 이 장비들은 7나노미터(nm) 크기의 칩을 제조하는데 중요한 역할을 합니다. 이렇게 라이센스를 필요로 하면서, 중국의 반도체 제조업체들이 이 기계를 서비스 받기 위한 절차도 복잡해졌습니다.
최첨단 기술, 하이-NA EUV 리소그래피
현재 가장 강력한 리소그래피 기계는 두 번째 세대 극자외선(EUV) 기계인 하이-NA EUV입니다. 인텔이 최근에 이 최신 기계를 최초로 설치했고, 이 장비는 매시간 185장 이상의 웨이퍼에 회로를 인쇄할 수 있는 능력을 갖추고 있습니다. 내년까지는 이 수치가 220장으로 증가할 예정입니다. 그러나 네덜란드는 이러한 고성능 장비를 중국에 수출하는 것을 금지하고 있습니다.
DUV와 EUV 기술의 차이
리소그래피 기술에서 가장 중요한 요소는 얼마나 작은 크기의 회로를 그릴 수 있느냐 입니다. EUV 리소그래피는 5나노미터 이하의 칩을 제조하는데 필수적인 기술입니다. 중국의 주요 반도체 업체인 SMIC는 현재 DUV 리소그래피 기술로 7나노미터 칩을 생산할 수 있지만, 미국의 제재로 인해 EUV 기계를 사용할 수 없습니다.
중국의 자구책: 자체 기술 개발
결국, 이러한 제재는 중국의 기술 개발을 자극할 수 있습니다. 상하이 미세전자장비(SMEM)가 EUV 기계 부품을 제조하기 위한 특허를 신청했습니다. 이 회사가 특허를 취득한다면, SMIC와 같은 중국 업체들은 자체 EUV 리소그래피 기계를 개발해 미국의 제재를 피할 수 있을 것입니다.
네덜란드가 이러한 제재를 강화한다면, 미국도 추가적인 제한을 도입할 가능성이 큽니다. 이는 전 세계 반도체 공급망에 큰 영향을 미칠 수 있으며, 중국은 이에 대한 대응책을 마련해야 할 것입니다.
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